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臺灣的驕傲!GAA相關專利數量快速增長 臺積電以31.4%居第一

GAA 作為 FinFET 的改進而出現。 韓國智財權局(KIPO)於 7 月 18 日宣佈, 近來與下世代半導體製程技術 GAA(gate-all-around)技術相關的專利數量, 正在快速增加。 在半導體行業,

GAA 被認為是對 FinFET 改進的全環柵技術。 兩者的區別在 FinFET 在三個表面上有電流通道, 而 GAA 在四個表面上有電流通道。 FinFET 相關專利數量在 2017 年達到 1, 936 件, 去年(2020)下降到 1, 508, 而在此期間, GAA 相關專利數量從 173 件增加到 381 件。 目前, 臺積電佔 GAA 相關專利申請的 31.4%, 其次是三星電子(20.6%)、IBM(10.2%)和 GlobalFoundries(5.5%)。 臺積電和三星電子之間的競爭可能會繼續升溫。 三星電子計劃從明年(2022)開始將 GAA 應用於其 3 奈米製程。 臺積電方面, 計畫預計 2023 年開始從 2 奈米採用 GAA 技術。 然而, 良率可能還是問題關鍵。 根據韓媒報導(2021.7.4), 三星電子在華城園區廠最先進的 V1 線, 仍存在良率難解問題, 5 奈米產品的良率仍低於 50%。 這可能與日本化學輔料有關, 由於日本對韓國實施半導體三項關鍵原料管制, 造成三星在先進奈米製程的良率無法提升。
對於半導體大廠而言, 製程是技術, 但良率才是其中的關鍵, 初期能將良率維持在八成左右已是非常困難的事情, 而臺積電的製程良率可以達到九成五以上, 可見臺灣在先進製程技術水準在三星之上, 而且良率高也代表創造獲利及現金流。

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